Алюминий көзге сызыгы Магнитрон Спуттеринг сызыгы
Төп үзенчәлекләр
- Алюминий көзге сызыгы Магнитрон Спуттеринг линиясе гадәттә вакуум камералар белән пыяла табаклардагы вакуум каплауны тулыландыру өчен килә.
- Төп үзенчәлекләр:
- 1.Max.glass каплау күләме: 2440x3660 мм яки көйләнгән
- 2. Күп вакуумлы палаталар һәм күп катлы камера дизайны бар
- 3. Горизонталь магнит белән идарә итү сызыгы бер очлы һәм икеле структурага ия;пыяла икеләтә чистарту, каплау, ачыклау, буяу, киптерү, суыту берьюлы тәмамланырга мөмкин
- 4. Бөтерелгән каплау линиясе бөтен процесс контроле өчен PLC куллана һәм каплау процессы мәгълүматларын күрсәтү өчен төсле экран белән җиһазландырылган
Катлам катламы: Титан, Хром, Датсыз Корыч, Алюминий, Көмеш, Бакыр һ.б.
- Кушымта: TiN, TiO2 һ.б.
- Катлам калынлыгы: 5-100нм
- Тапшыру: 380-780 нм дулкын озынлыгында 8-40%
- Чокыр температурасы: бүлмә температурасы
- 8 сәг.
- Керү йозак камерасы һәм вакуум йозак камерасы: 5 × 10-1 Па яки аннан түбән
- Буфер палатасы 1: 3 × 10-3 Па яки аннан түбән
- Спутинг палатасы: 2 × 10-3 Па яки аннан түбән
- Буфер палатасы 2: 3 × 10-3 Па яки аннан түбән
- Блок камерасыннан һәм вакуум йозак камерасыннан чыгу: 5 × 10-1 Па яки аннан түбән
Хәбәрегезне монда языгыз һәм безгә җибәрегез
