Вакуум магнитронны таркату техникасы - хатын-кыз, биполяр электрод өслеген катод өслегендәге электрон магнит кыры белән куллану, максатлы электр кырын магнит кырына перпендикуляр итеп куеп, электрон инсультны арттыра, ионлаштыру тизлеген арттыра. газ, югары энергия кисәкчәләре газ белән бәрелештән соң энергияне югалта һәм субстрат температурасы түбәнрәк, температура булмаган материалда тулы каплау.