Катлам | Каты hv | Сүрелү коэффициенты | Коррозиягә каршы тору | Каршылык киегез | Максималь хезмәт температурасы С. | Төс |
TiN (Титан Нитрид) | 2200 | 0,5 | Яхшы | Яхшы | 525 | Алтын |
TiN –LT (Титан Титан Нитрид) | 2200 | 0,5 | Яхшы | Яхшы | 525 | Алтын |
TiCN (Титан Карбонитрид) | 3000 | 0.4 | Ярминкә | Яхшы | 400 | Виолет |
AlTiN (Алюминий Титан Нитрид) | 3600 | 0.6 | Яхшы | Яхшы | 750 | Кара |
CrN (Хром Нитрид) | 2400 | 0,5 | Яхшы | Яхшы | 700 | Көмеш / Соры |
ZrN (Зирконий Нитрид) | 2500 | 0,5 | Яхшы | Яхшы | 600 | Алтын алтын |
1. PVD каплау камерасы - пассажир урлаудан ясалган алгы ишекнең тартма тибындагы структурасы
2. Каплау камерасының спецификациясе һәм эш кисәкләренең зурлыгы каплау ихтыяҗларының гомуми таләпләренә туры килә
3. Арка чыганагы алдынгы һәм ышанычлы
4. ylилиндрик яки планар магнитрон спуттеры бар
5. ПЛКны автоматик яки кул белән контрольдә тоту мөмкин
PVD каплау машинасын эшләтү өчен сезгә кирәк булачак:
Суыту суы: Температура 15-28 Celельсий, салкынрак күләм: 5p-15p
Компрессор: Танк күләме: 0,5-2 / куб метр
Электр энергиясе: PVD машинасы күләменә карап 80 ~ 150ква ким түгел.
Металл өлешләрдә алдан карау өчен:
1. УЗИ кер юу машинасы
2. Чиста су машинасы яки / су чиста булса, 1-2 тонна / сәг
3. Субстратларның (продуктларның) өслеге чиста, коры булырга тиеш
4. Оператор: сыйдырышлыгы әйтелгәнчә: 1 - 2 оператор
Процесс өчен:
1. Чимал: максатлы материаллар
2. Газлар: А2, Н2, О2, С2Х2 һ.б.
3. Барлык газ танкларына басымны киметүче клапаннар һәм газ торбалары, тоташтыручылар кирәк
4. Нефть майы һәм башка әйберләр һәм запчастьләр исемлеге